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產(chǎn)品分類導(dǎo)航
PRODUCT CENTER
萬級烘箱
產(chǎn)品型號：RSD-COL-640H
產(chǎn)品簡介：

SD-COL-640H萬級烘箱，(潔凈烤箱)技術(shù)參數(shù)：榮仕達(dá)是江蘇專業(yè)制造萬級烘箱廠家，系列產(chǎn)品用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；萬級烘箱也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室等生產(chǎn)及科研部門；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。
詳細(xì)介紹

RSD-COL-640H萬級烘箱技術(shù)參數(shù)：


萬級潔凈烘箱系列用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室等生產(chǎn)及科研部門；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。

 
萬級烘箱參數(shù)資料：
一．特點：
1.在普通環(huán)境下使用，能夠確保烘箱內(nèi)部等級達(dá)到Class 1000/100/10
2.全周氬焊，耐高溫硅膠破緊，SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器，防機臺本身所產(chǎn)生微塵；
3.采用進口SUS304#2mm厚之鏡面不銹鋼板或國標(biāo)鏡面不銹鋼材質(zhì)，并經(jīng)堿性蘇打水清潔，去油污避
免烘烤時產(chǎn)生 PARTICLE；
4.采平面水平由后向前送風(fēng)后經(jīng)美國進口H.E.P.A Filter 24"×24"×5-7/8"裝置往前門
(特殊風(fēng)道設(shè)計)方向送風(fēng)，過濾效率99.99%，Class 100,排氣口：３"φ(附自動啟閉風(fēng)門)
二．執(zhí)行與滿足標(biāo)準(zhǔn)
1.GB/T11158-1989高溫烘烤技術(shù)條件
2.GB2423.2-1989標(biāo)準(zhǔn)B
三．用途
無塵烤箱適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室等生產(chǎn)及科研部門。
無塵潔凈烘箱溫度選配60～250℃（300℃）
四．產(chǎn)品技術(shù)參數(shù)
 1.名稱及型號：RSD-COL-640H
 2.主要技術(shù)指標(biāo)：
 2.1無塵等級：Class 10000;
 2.2溫度范圍： 20～250℃（300℃）；
 2.3溫度均勻度：±1.5℃;
 2.4溫度波動度：±0.5℃（空載）
 2.5溫控精度：±0.1℃;
 2.6烘箱擱板為活動形式。
 2.7工作尺寸：W800×H1000×D800
 2.8電源：380v , 50Hz，9.0Kw
 3、萬級烘箱體結(jié)構(gòu)：
 3.1烘箱由箱體部分、電器控制柜、電加熱及風(fēng)道系統(tǒng)組裝而成，結(jié)構(gòu)合理，外觀美觀大方；
 3.2全周氬焊，耐高溫硅膠迫緊，SUS304＃不銹鋼電熱產(chǎn)生器，防機臺本身產(chǎn)生微塵；
 3.3箱體材料：外箱采用SUS304不銹鋼或 SS41# 中碳鋼板經(jīng)磷酸皮膜鹽處理后兩層防光面涂裝烤漆，可防止微塵；
 3.4內(nèi)膽材料：采用進口SUS304#之鏡面不銹鋼板或國標(biāo)鏡面不銹鋼材質(zhì)，并經(jīng)堿性蘇打水清潔，去油污避免烘烤產(chǎn)生 PARTICLE；
 3.5中桶材料：采用進口SUS304#鏡面不銹鋼板或國標(biāo)鏡面不銹鋼材質(zhì)，并經(jīng)堿性蘇打水清潔，去油污及氬焊密加工(防污染)。
 4、溫控系統(tǒng)
 4.1采用日本OMRON E5A型溫度控制器，控制器LED數(shù)字顯示及設(shè)定、PID自動演算、薄膜設(shè)定，**度±0.3%  FS；
 4.2訊號來源：采進口BA感應(yīng)棒±0.5%。
 4.3輸出被控制組件：SSR無接點訊號輸出。
 5、完善的**保護措施：漏電斷路器、控制線路保險絲裝置、超溫防止保護裝置、電熱過電流保護裝置、馬達(dá)過電流保護、機臺異常蜂鳴器警示逆向防止器、門面**開關(guān)
 6、無塵烘箱選購設(shè)備：
 6.1 可程式溫控器
 6.2六點溫度記錄儀
 6.3雙色指示燈
 6.4烘烤架


RSDCOL系列智能萬級烘箱（型號規(guī)格表）

 容積

    型號

控溫范圍

 控溫精度

 電源電壓

 內(nèi)膽尺寸（mm）

  層數(shù) 

 70L

 RSD-COL-070H

 RT-250℃

   ±1℃

 220V/50Hz

  W400*D350*H500

   2層

 180L

 RSD-COL-180H

 RT-250℃

   ±1℃

 220V/50Hz

  W600*D600*H500

   2層

 270L

 RSD-COL-270H

 RT-250℃

   ±1℃

 380V/50Hz

  W600*D500*H900

   3層

 340L

 RSD-COL-340H

 RT-250℃

   ±1℃

 380V/50Hz

  W700*D700*H700

   3層

 620L

 RSD-COL-620H

 RT-250℃

   ±1℃

 380V/50Hz

  W800*D600*H1300

   4層

 640L

 RSD-COL-640H

 RT-250℃

   ±1℃

 380V/50Hz

  W800*D800*H1000

   4層

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